序號

名稱

材質

數量

用途

1

O型密封圈φ830X10

氟膠

1

筒體(上法蘭)

2

O型密封圈φ90X3

丁腈

1

筒體(上蓋板)

3

O型密封圈φ85X4

氟膠

2

筒體(上蓋板)

4

O型密封圈φ14X3

丁腈

3

筒體(抽氣口)

5

O型密封圈φ24X3

丁腈

1

筒體(抽氣口)

6

O型密封圈φ84X4

氟膠

6

筒體(觀察窗)

7

凸型膠圈φ408X8X8

真空耐油橡膠

1

GDQ-400閥

8

O型密封圈φ64X4

氟膠

1

GDQ-400閥

9

O型密封圈φ31X4

氟膠

3

GDQ-400閥

10

O型密封圈φ458X8

丁腈

1

GDQ-400閥

11

O型密封圈φ80X4

丁腈

2

分子泵機組

12

O型密封圈φ70X4

丁腈

1

分子泵機組

13

O型密封圈φ104X4

丁腈

4

分子泵機組

14

O型密封圈φ108X4

丁腈

3

分子泵機組

15

O型密封圈φ85X4

丁腈

1

分子泵機組

16

O型密封圈φ481X8

丁腈

1

分子泵機組

17

骨架及膠圈

2