序號

名稱

材質

數量

用途

備注

1

密封圈 Φ2.5*2.5

氟橡膠

2

測溫

備件*2

2

唇形膠條長4500

真空橡膠

1

拉門密封

備件*2

3

O型密封圈 Φ15*4

氟橡膠

9

規管座

備件*2

4

O型密封圈Φ25*4

氟橡膠

4

加熱器

備件*2

5

O型密封圈Φ25*4

氟橡膠

4

加熱器

備件*2

6

油封 Φ10*Φ22*7

氟橡膠

4

 觀察窗

備件*2

7

密封圈Φ104x4

氟橡膠

4

 觀察窗

備件*2

8

0型密封圈Φ760X10

丁晴橡膠

1

機組

備件*2

9

0型密封圈170*5

丁晴橡膠

1

機組

備件*2

10

0型密封圈108*5

丁晴橡膠

1

機組

備件*2

11

0型密封圈85*4

丁晴橡膠

4

機組

備件*2

12

0型密封圈104*4

丁晴橡膠

2

機組

備件*2

13

油封Φ40XΦ62*10

氟橡膠

3

轉架

備件*2

14

O型密封圈Φ105X4

氟橡膠

2

轉架

備件*2

15

O型密封圈Φ11X4

丁晴

6

70圓柱靶

備件*2

16

油封20X36X10

丁晴

6

70圓柱靶

備件*2

17

O型密封圈Φ80X5

氟橡膠

6

70圓柱靶

備件*2

18

O型密封圈Φ90X5

氟橡膠

6

70圓柱靶

備件*2

19

油封30X50X10

氟橡膠

12

70圓柱靶

備件*2

20

O型密封圈Φ55X4

氟橡膠

12

70圓柱靶

備件*2

21

橡膠油封 20*30*7

4

弧源擋板

備件*2

22

O型密封圈Φ100*4

丁腈橡膠

12

柱靶盲板

備件*2

23

O型密封圈Φ105*4

丁腈橡膠

1

下轉架盲板

備件*2

24

O型密封圈Φ45*3

丁腈橡膠

2

光柵閥盲板

備件*2

25

O型密封圈Φ112X5

丁腈橡膠

10

弧源盲板

備件*2

26

O型密封圈Φ18X3

丁腈橡膠

10

弧源盲板

備件*2

27

唇形膠條 長2760

真空橡膠

2

弧源法蘭

備件*2

28

油封 15X35X10

橡膠I組

2

氣動光柵閥

備件*2

29

0型密封圈Φ42*4

丁晴橡膠

2

氣動光柵閥

備件*2

30

O型密封圈Φ458*8

丁晴橡膠

2

兩位一體閥

備件*2

31

O型密封圈Φ64*4

氟橡膠

2

兩位一體閥

備件*2

32

O型密封圈Φ31*4

氟橡膠

6

兩位一體閥

備件*2

33

凸型膠圈Φ408*7

氟橡膠

2

兩位一體閥

備件*2

34

骨架油封Φ10XΦ22X7

丁腈橡膠

20

弧源

備件*2

35

O型密封圈Φ18X3

丁腈橡膠

20

弧源

備件*2

36

O型密封圈Φ108X5

氟橡膠

10

弧源

備件*2

37

O型密封圈Φ112X5

氟橡膠

10

弧源

備件*2